酸化物単結晶基板
10x10mmを標準品としておりますが、15x15mmや20x20mm、2"φなど(結晶によります）、様々なサイズの酸化物単結晶基板にご対応しております。
窒化物半導体用途向けにSCAM単結晶の取り扱いを始めました。中国品でのご案内となりますが、ユーザー様からはご好評をいただいております。是非お試しください。
＜取扱製品一覧＞
窒化物半導体向け SCAM (ScAlMgO4) NEW!!!
|
（チタン酸ストロンチウム)
|
（酸化マグネシウム） |
(RE=Gd, Dy, Tb等） |
|
(サファイア）
|
（酸化チタン） |
(ランタンアルミネート） |
|
（エルサット）
|
(イットリア安定化ジルコニア） |
（ストロンチウムランタンアルミネート） |
|
（ストロンチウムランタンガレート）
|
（酸化亜鉛） |
（ネオジウムガレート） |
|
（スピネル）
|
（イットリウムアルミネート） |
（マグネシウム酸ニオブ酸チタン酸鉛） |
|
（ガドリウムガリウムガーネット）
|
（置換型ガドリウムガリウムガーネット） |
（イットリウムアルミウムガーネット） |
|
（水晶）
|
（チタン酸バリウム）
|
（タンタル酸カリウム）
|
基板標準仕様
〇 面粗さ： Ra (average roughness) < 0.5nm (typ. < 0.25nm)
RMS (root-mean-square) < 0.8nm (typ. < 0.35nm)
P-V (peak to valley) < 3.5nm (typ. < 3nm)
〇 公差： 縦横 --- 「+0/-50um」
厚み --- 「+/- 20um」~ 「+/- 50um」
面方位 --- < 0.5°(typ. < 0.3°）
〇 Free of defects (scratch, dig, etc.） under 50x magnification
※ 基板の種類・仕様によりましては、上記数値よりも悪くなる場合が
ございます。詳細情報をご入用の場合は別途、お問い合わせ下さい。
