Y系超伝導薄膜 (YBCO、DyBCO、NdBCO)

  

Ceraco Ceramic Coating GmbH社(独)製の超伝導薄膜を扱っております。

 

共蒸着法(co-evaporation method)を用いて、様々な単結晶基板上に均一性が良く、高品質な薄膜を成膜し、提供致します。 (薄膜価格表はコチラ

 

成膜に使われる代表的な単結晶基板につきましては、下記ご参照下さい。

 

 基板 最大サイズ※1   バッファ層 成膜可能厚み(実績)
 MgO  3"φ  なし  1500nm程度まで
 SrTiO3  20mm□  CeO2  1500nm程度まで
 サファイア  200mm□  CeO2  300nmまで※2
 YSZ  100mm□  CeO2 or Y2O3  1500nm程度まで
 LaAlO3  2"φ  CeO2  1500nm程度まで

※1 市場で入手可能な基板の最大サイズを意味しています。

    成膜自体は8"φまで可能です。

 

※2 サファイア基板と超伝導膜の熱膨張率がミスマッチする関係から

    成膜可能厚みが最大300nmまでとなっております。

 

 

成膜品には用途によって、下記の3種類がございます。

 

(1) M - type (Y and Cu rich)                   (2) S - type (Cu rich)

 

      

 

(保証値)                                                (保証値)

Tc > 87K                       Tc > 86K

Jc(77K) > 2MA/cm2                               Jc(77K) > 1.5MA/cm2

Rs < 500 uΩ(@77K,10GHz)                              

 

(用途)                      (用途)

マイクロ波デバイス                                      SQUID

High Jc application                                       Micron-linewidth patterning 

FCL

 

 

(3) E - type (Y:Ba:Cu  1:2:3)

 

 

(保証値)

Tc > 80K

 

(用途)

Low temperature electronics

Multilayers

Submicron structures

 

※ E-type成膜品のご対応可能膜厚は基板に関わらず、50~200nm

なります。

 

 

また、超伝導膜上にAuコンタクトレイヤーやCeO2キャップレイヤーの成膜、及び成膜後の

パターニング(図面のご提出をお願い致します)も承っております。

 

 

お問い合わせ時は

 

① 成膜面(片面or両面)

② 成膜厚み

③ フィルムタイプ(M、S、E)

④ 基板、サイズ

⑤ 数量

 

をご教示いただけましたら、スムーズにお見積もりを差し上げることが出来ます。

 

 

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