SrTiO3単結晶基板（チタン酸ストロンチウム）
SrTiO3基板は古くから超伝導体薄膜の下地基板や強誘電体薄膜向けの研究を中心に 使われております。
超精密な薄膜を作製される研究者様向けに、通常品SrTiO3基板（面方位精度：+/-0.5°)に 加えまして、面方位精度をシビアに規定し、最適なステップテラス面を出せるようにしたSrTiO3基板も 販売しております。 (例： (100) 0.1~0.2°off）
弊社では(100)、(110)、(111)等の標準的なSTO基板は常に在庫所持しておりますので、お待たせ することがございません。少量が必要な時や急なご実験時にも迅速にご対応申し上げます。
製品情報
| サイズ |
10x10mm、15x15mm、20x20mm等 |
|---|---|
| 厚み | 0.5mm、 1mm、 0.1mm等 |
| 研磨 | 片面エピ研磨、両面エピ研磨 |
| 面方位 |
(100)、(110)、(111) |
お客様側での基板表面処理後のステップテラス面
※ ステップ基板は扱っておりませんが、STO基板ご購入のお客様には
BHFエッチングによるTiO2面出しレシピを無償ご提供しております。
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Storontium Titanate |
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結晶育成方法 |
ベルヌーイ法 |
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結晶構造 |
cubic |
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格子定数 (nm) |
a=0.39045 |
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結晶カラー |
無色～やや黄色 |
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密度 (g/cm3) |
5.12 |
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溶融温度 (K) |
2353 |
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熱伝導率 (W/m K)) |
12 |
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比誘電率 |
300 |
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損失係数 (77K, 10GH) |
2x10-2 |
| 硬度 (Mohs) | 6~6.5 |
※ 上記数値は一般値であり、保証値ではございません。
