SrTiO3単結晶基板（チタン酸ストロンチウム）
SrTiO3基板は強誘電体薄膜や超伝導薄膜作製に使われております。
超精密な薄膜を作製される研究者様向けに通常品SrTiO3基板（面方位精度：+/-0.5°)に加えまして、面方位精度をシビアに規定し、最適なステップテラス面を出せるようにしたSrTiO3基板も販売しております。 (例： (100) 0.1~0.2°off）
何よりも弊社では(100)等の標準的なSTO基板は常に在庫所持しておりますので、お待たせすることがありません。少量が必要な時、急なご実験時にも迅速にご対応申し上げます。
製品情報
| サイズ |
10x10mm、15x15mm、20x20mm等 |
|---|---|
| 厚み | 0.5mm、 1mm、 0.1mm等 |
| 研磨 | 片面エピ研磨、両面エピ研磨 |
| 面方位 |
(100)、(110)、(111) |
基板表面処理後のステップテラス面
※ STO基板ご購入のお客様にはBHFエッチングによるTiO2面出しレシピを
無償ご提供しております。
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Storontium Titanate |
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結晶育成方法 |
ベルヌーイ法 |
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結晶構造 |
cubic |
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格子定数 (nm) |
a=0.39045 |
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結晶カラー |
無色～やや黄色 |
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密度 (g/cm3) |
5.12 |
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溶融温度 (K) |
2353 |
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熱伝導率 (W/m K)) |
12 |
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比誘電率 |
300 |
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損失係数 (77K, 10GH) |
2x10-2 |
| 硬度 (Mohs) | 6~6.5 |
※ 上記数値は一般値であり、保証値ではございません。
